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GB 50073-2013洁净厂房设计规范 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级 尘埃*允许数/立方米 5级 0.5um ≤3520pc/m3 ，5.0 ≤ 29 pc/m3 6级0.5um ≤35200(pc/m3 ，5.0 ≤ 293 pc/m3 7级0.5um ≤352000pc/m3 ，5.0 ≤ 2930 pc/m3 8级0.5um ≤35200000(pc/m3 ，5.0 ≤ 29300 pc/m3 9级0.5um ≤352000000pc/m3 ，5.0 ≤ 29000 pc/m3.
洁净室及洁净区空气洁净度整数等级测试 悬浮粒子检测使用仪器激光尘埃粒子计数器
空气洁净等级（N）
GB 50073-2013洁净厂房设计规范 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
1
10
2
-----
100
24
4
3
1000
237
102
35
8
1000*10
237*10
102*10
352
8.3*10
5
1000*100
237*100
102*100
3520
8.32*100
29
6
1000*1000
237000
102*1000
35 200
8.32*1000
293
7
35 2000
8.32*10,000
2930
35 20000
8.32*100,000
293 00
9
35 200000
8.32*1000.000
293 000
