经理固定电话：0512-66985755
联系电话：18915420690
Email：changliu006@126.com
QQ：2578715779
CL-BM1915 表面微粒检测仪
CL-BM1915 表面微粒检测仪主要用于测量各种高洁净度要求的产品，光学镜片组件、液晶面板及超净微环境受控的半导体机台、光刻机、芯片等表面所附着的尘埃粒子的粒径大小及单位面积内的数量。
本仪器的核心零部件（光学传感器）及控制器等采用美国 Lighthouse 所生产的组件来保证该产品的测量精度。
本仪器机壳采用 SUS316L 不锈钢制作，并经表面精细钝化处理。高清彩色触摸液晶屏显示操作，检测光学传感器采用美国进口整机，吸气的气泵为旋片式进口气泵，并可通过流量传感器来自动补偿调节气泵的运行流量，使其连续保持在稳定的检测流量范围内，表面测试探头根据德国同类产品进行改良优化，并配有防静电软管辅助采样，排气及吸气过滤采用先进的囊式过滤器。内部滤材为德国进口，从而保证仪器的检测精度及运行稳定性，本仪器操作简便，稳定性强， 精度高。
*表面微粒检测仪由三大部分组成：
*扫描取样头：取样的同时可以提供一定压力的吹扫气流，可以集成操作控制器；
*激光尘埃粒子计数器主机：主要由采样气泵、激光传感器、主控板、过滤器以及电池组成；
*连接主机与扫描采样头的管道：包括取样管道与吹扫管道。
*检测通道
0.1、0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、/0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0μm 六通道 2选一
*计数效率
0.3μm 50%±20%（**粒径通道） 0.5μm 100%±10%（**粒
径通道）
采样流量
28.3L/min ±5%，可通过触摸屏控制自行流量调节
采样时间
0～24h
重复性
相对标准偏差≤10%
粒径准确度
相对误差≤10%
自净时间
≤10 min
*激光光源
激光二极管，经过特殊工艺优化理论寿命为 20 年（MTT）或寿命大于
40000 小时
显示方式
高清触摸液晶显示屏
允许*大采样浓
度
35000 颗/L(尘埃颗粒粒径不小于 0.3um)，采样空气中不得含酸碱等腐
蚀性气体
外形尺寸
265mm×265mm×255mm
重量
7.4kg
*大功耗
35W
电源
16.8V 内置锂电池/DC16-24V 外部宽电压供电
粒径通道1
0.1 um、0.3 um、0.5 um、1.0 um、3.0 um、5.0 um
粒径通道2
0.3um、 0.5um、 1.0um、3.0um、5.0um、10.0um
采样周期
3s、6s
数据存储
5000 组
表面材质
SUS316L
连续工作时间
9 小时
使用环境条件
温度：10-35℃ 湿度：20-75RH 大气压：86-106kPa
零计数
≤10 分钟内连续 3 分钟为 0
执行标准
ISO/FDIS 21501-4:2018、GB/T 6167-2007、JJF 1190-2008
采样口径
1/4”Flaretek™
采样温度
32-302°F（0-150℃）
操作界面
彩色触摸屏控制便于操作和设定，能同时显示 6 个通道的数据，分辨率
320×240，屏幕数据缩放功能
输出方式
内置热敏打印机或 RS485 协议
AC100～240V 50～60HZ
语言
中、英文切换
